ガスプラズマクリーナーを使った様々な表面洗浄

ガスプラズマクリーナーは、プラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で、洗浄対象物の表面をクリーニングすることができます。用途に合わせて使用するガスを変更することによって、有機質の汚れはもちろん無機質の汚染でも確実に除去することが可能です。ガスプラズマクリーナーを使えば、基板やリードフレームのボンディング面を洗浄することで、ボンディング強度の向上を図ることも簡単です。また、表面を親水化することによって、濡れ性改善にも適しています。

アプリケーションとしてはレジストなどの有機物のエッチング、クロスコンタミやフラックスの除去・ワイヤーボンディング面の洗浄による強度の向上などが挙げられます。表面の親水性を向上させることによってもたらされる効果は、ダイヤタッチやモールドの前処理です。表面張力をコントロールすることなども得意で、用途に応じて処理をすることができます。ガスプラズマクリーナー装置の特徴は、平行平板方式のチャンバーを使用することで、洗浄対象物の表面にムラなくプラズマを照射することができる点です。

また、洗浄対象に応じてエレクトロンフリープラズマやアクティブプラズマを選択することもできます。複数の選択肢で、強度の異なるプラズマを発生させることが可能です。熱ストレスを少なくすることも得意で、対象物にダメージを与えにくい構造が高い評価を得ています。クリーニング条件をメモリーすることができるため、用途による使い分けも簡単です。

レシピ設定や操作は直感的に作られていて、初心者でも操作に迷うことがありません。

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です