プラズマクリーナーとはどのようなものなのか

工場のような様々な製品を扱う場所では、工業用のクリーナーとして色々なものが使われています。その中でも他にはない大きな特徴を持つものが、プラズマクリーナーと言えるでしょう。プラズマクリーナーとはどのようなものなのかと言うと、プラズマのエッチング効果を利用するものです。低圧の環境のもとで洗浄したいものの表面をクリーニングできるシステムです。

用途に合わせてガスを選択することができるので、有機質のものだけではなく、無機質の汚染であっても確実に除去できることが大きなメリットと言えるでしょう。HIC基板やリードフレームのボンディング面を洗浄することによって、ボンディングの強度を上げることも可能です。濡れ性の改善にも最適なシステムであり、プラズマクリーナーは性能の差が大きく見られる為、それらを踏まえた上で選択することが重要です。まず一番大切なことは、専用の洗浄するものの表面にムラなく照射できるのかということです。

ムラをなくすためにも、平行平板方式のチャンバーを搭載するものがあるので、これを選ぶとよいでしょう。またプラズマには強度があることから、材質に合わせて選ぶことも重要です。強度がいくつか用意されているプラズマクリーナーの方が使いやすいですが、ガスを何種類から選べるかも大きなポイントです。強度が強ければ洗浄効果も大きくなるものの、場合によっては静電破壊などが発生する可能性もあります。

臨機応変に使い分けできることが、プラズマクリーナーの大きな魅力です。

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