プラズマクリーナーとは

プラズマクリーナーとは、チューブやレンズ、医療処置道具、その他に表面改質や粉体洗浄による印刷やコーティング材などの親水による密着性を改善させることにより、商品の生産性やクオリティをより向上させることができる装置です。プラズマクリーナーの処理方式にはRIEモードプラズマ処理と、DPモードプラズマ処置の2種類があります。RIEモードプラズマ処理は、チャンバーと呼ばれる部品内に、大気圧より約10Pa以下まで減圧したアルゴン原子を導入後、約20Paで電極間に高周波電力を印加します。チャンバー内のアルゴン原子は、アルゴンイオンと電子に電離されます。

下部電極にイオンよりも軽い電子が早く到達し、下部電極には同時にマイナス電圧とイオンシースが発生します。プラス電荷のイオンはマイナス電圧である下部電極に引かれます。加速領域では、厚みが大きいほど加速したサンプル上にイオンシースとアルゴンイオンがぶつかることで、無機物や有機物を弾き飛ばしクリーニングを行うことができます。DPモードプラズマ処置は、大気圧より約10Pa以下まで減圧したチャンバーに酸素分子を導入後、80Paから130Paで電極間に高周波電力を印加します。

高周波電力によりチャンバー内の酸素分子は電離され、サンプル上の有機化合物と酸素原子が化学反応で水分子や二酸化炭素になることで、真空ポンプによって排気されます。この場合は化学反応を利用するため、無機物の処理は行えません。それぞれの原理を理解した上で、用途に合わせてプラズマクリーナーを選ぶ必要があります。

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