プラズマ装置を導入する具体的なメリットとは

半導体などの精密機器を製造する過程では様々な汚染や副生成物が生じており、何らかの方法で取り除く必要があります。薬液を使用して汚れを取り除くウェット洗浄の場合、最終的にリンスで薬液を洗い流し乾燥させなければなりません。プラズマ装置のように薬液を使わないドライ洗浄ならば、洗い流して乾燥させる工程が不要なので素早く汚れを除去できます。工程数が少ないほど生産性が向上して納期が短くなるため、顧客からの評価も高まり新たな取引先や販売経路の獲得につながります。

プラズマ装置には品質と生産性を大幅に向上させるというメリットがあり、様々な製造業の現場で導入されています。分子がプラス電荷のイオンとマイナス電荷の電子に分かれた状態がプラズマであり、物質の第4の状態とも呼ばれます。固体にエネルギーを与え続けると液体、気体と変化し最終的にはプラズマの状態になります。プラズマ装置はプラズマが発生する過程で生じるイオンや原子を使い、精密機器の表面に付着した細かい汚れを取り除きます。

半導体や電子デバイス、レンズや医療機器など精密機器を製造する現場ではプラズマ装置が不可欠な存在です。この装置にはRIEモードとDPモードという2種類の処理方式があり、それぞれ対応可能な汚れの種類が異なります。RIEモードはアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させて弾き飛ばしますが、DPモードは酸素原子を有機物と反応させて二酸化炭素と水分子に変えます。状況に応じてこれらの処理方式を使い分けると、精密機器に付着した細かな汚れを効果的に取り除くことができます。

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