プラズマ装置の種類について

プラズマ装置はプラスチックや金属などの素材表面に分子との反応性の高いプラズマを当てることで、表面を洗浄し殺菌、コーティングを行う装置を指します。プラズマとは気体にエネルギーを与えることで出来る荷電粒子を含んだ気体状態のことをいい、プラズマ化させる気体の種類や精製方法によって効果が異なってきます。そのためプラズマ装置の使用を検討するならば、用途や目的に適したものを選定することが重要です。使用用途としては、プラズマは非常に高いエネルギーがあり他の分子と容易に反応する性質を持っているため、この声質を活かした産業において利用されています。

例えば洗浄や被膜形成、エッチング等の処理を素早く行うことや、半導体集積回路等の精密機器部品の製造現場でも使用されます。他にも食品や薬品の消毒や殺菌、産業廃棄物の無害化にも使用されています。プラズマ装置は大きく分けて大気圧タイプと低圧タイプの2種類に分けられ、前者はその名の通り大気圧下でプラズマを発生させることが出来る装置となります。高電圧をかけた電極に酸素や希ガスを通過させてプラズマを発生させます。

真空環境が不要なので低圧プラズマよりもイオン密度が高い特徴があり、極力対象物を照射位置に近づける必要があるので使用する際には注意が必要です。後者は真空環境下でプラズマを発生させる装置であり、使用時は真空環境に限定されるのに対してガスを必要としない特徴を持ちます。対象物から装置をある程度離しても照射を行うことが出来るので、装置の設置場所に悩む心配がありません。

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