製造業の現場で活躍するプラズマ装置

プラズマ装置はプラズマが生じる過程で発生するイオンや原子を利用して、半導体など精密機器の表面に付着した細かい汚れを取り除きます。精密機器の製造過程では様々な汚染や副生成物が生じており、除去しなければ製品の品質が低下してしまいます。不良品が発生するとクレームなどトラブルの原因になるため、何らかの方法で取り除かなければなりません。細かい汚れを除去する方法には薬液を使うウェット洗浄と、プラズマ装置のように薬液を使わないドライ洗浄の2種類があります。

ウェット洗浄は薬液を使用するため、汚れを取り除いた後でリンスを使って薬液を洗い流し乾燥させなければなりません。工程数が多くなり手間がかかるので、納期な長くなってしまうというデメリットが存在します。プラズマ装置のようにドライ洗浄を行う場合には、薬液を洗い流して乾燥させる工程が不要です。工程が少なくなるため生産性が向上し、納期も短くすることができます。

短い納期で高品質な製品を納品するほど顧客満足度も高まり、売上の増加につながります。プラズマ装置にはアルゴンイオンを有機物や無機物にぶつけて弾き飛ばすRIEモードの他に、酸素原子を有機物と反応させて水分子と二酸化炭素に変えるDPモードの2種類が存在します。製造業の現場では様々な汚れが生じており、状況に応じて異なる処理方式が使い分けられています。細かい汚れを素早く除去するプラズマ装置は精密機器を製造する現場に不可欠な存在です。

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